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特種氣體的介紹

特種氣體用于各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)的薄膜氣體、摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、刻蝕氣體及工藝設備所使用的氣體。通常包括可燃性氣體、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體、惰性氣體等。

特種氣體使用的封閉式氣瓶放置與管理設備，一般應配置減壓裝置、真空發(fā)生器、、緊急切斷閥、過流開關、風壓事故報警、、壓力監(jiān)測及報警等安全使用所必須的設施。排風管配置泄漏探頭。氣瓶柜有手動、半自動、全自動三類。

特種氣體的主要生產(chǎn)工序

包括氣體合成、氣體純化、氣體混配、氣瓶處理、氣體充裝、氣體分析檢測。氣體合成是將原料在特定壓力、溫度、催化劑等條件下，特種氣體公司，通過化學反應得到氣體粗產(chǎn)品。氣體純化是通過精餾、吸附等方式將粗產(chǎn)品精制成更高純度的產(chǎn)品。

氣體混配是將兩種或兩種以上有效組分氣體按照特定比例混合，得到多組分均勻分布的混合氣體。

氣瓶處理是根據(jù)載氣性質(zhì)及需求的不同，合肥特種氣體，對氣瓶內(nèi)部、內(nèi)壁表面及外觀進行處理的過程，以保證氣體存儲、運輸過程中產(chǎn)品的穩(wěn)定。氣體充裝是指通過壓力差將氣體充入氣瓶等壓力容器；氣體分析檢測即為對氣體的成分進行分析、檢測的過程。

特種氣體管道試壓

1、試壓前將不能與管道一起試壓的設備及壓力系統(tǒng)不同的管道系統(tǒng)用盲板隔離，特種氣體廠，應將不宜與管道系統(tǒng)一起試壓的管道附件拆除。臨時裝上短管。

2、管道上所有開口應封閉，特種氣體生產(chǎn)廠家，系統(tǒng)內(nèi)的閥門應開啟;系統(tǒng)1高點應設放氣閥，1低點應設排水閥。

3、試壓時，應用精度等級1.5級以上的壓力標2只，表的量程應為1大被測壓力的1.5~2倍，一只裝在試壓泵出口，另一只裝在本系統(tǒng)壓力波動較小的其他位置。

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